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MEMS 澳门太阳集团2007网站遵循没有化学反应的物理皮拉尼原理,基于气体热导率变化对于压力
测量范围:0.0001~1000mbar,卓越的可重复性
硅晶片上有加热电阻,并且有优异的温度补偿
超小的澳门太阳集团2007网站气体体积例如<0.1cm3
稳定和长的 MTBF(>30000 小时) ,基于物理阻抗感应原理
超低功耗消耗(<6mW),由于使用了带小加热元件的 MEMS 澳门太阳集团2007网站
超快响应时间<50mS
对安装位置不敏感
可以使用在串扰气体环境中
与一个简单恒定的温度电路兼容

产品型号:
MTCS2601
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产品先容

一、热导式气体太阳集团游戏官方网址 MTCS2601 描述:

MTCS2601 澳门太阳集团2007网站由基于 MEMS 技术的 4 个 Ni-Pt 电阻组成的微机械的热电导率澳门太阳集团2007网站。此澳门太阳集团2007网站安装在小型的 SMD 封装内。同时结合了低功耗 CMOS 标准集成电路,非常适合 OEC厂商的泄漏检测,或者基于帕拉尼原理的真空度检测,需要超低功耗,长寿命和免维护的产品。适用于恶劣环境下初级压力控制,需要功耗和尺寸的限制,或者是气体泄漏或者水分,或者侵入。

二、 热导式气体太阳集团游戏官方网址 MTCS2601特点:

MEMS 澳门太阳集团2007网站遵循没有化学反应的物理皮拉尼原理,基于气体热导率变化对于压力

测量范围:0.0001~1000mbar,卓越的可重复性
硅晶片上有加热电阻,并且有优异的温度补偿
超小的澳门太阳集团2007网站气体体积例如<0.1cm3
稳定和长的 MTBF(>30000 小时) ,基于物理阻抗感应原理
超低功耗消耗(<6mW),由于使用了带小加热元件的 MEMS 澳门太阳集团2007网站
超快响应时间<50mS
对安装位置不敏感
可以使用在串扰气体环境中

与一个简单恒定的温度电路兼容


三、 热导式气体太阳集团游戏官方网址 MTCS2601应用:


1.作为气体浓度测量澳门太阳集团2007网站的应用:
室内外空气中H2、CH4、CO2、LPG气体监测
?食品工业的过程控制(例如碳酸饮料中二氧化碳的测量)
?用于燃料电池的氢澳门太阳集团2007网站
?沼气厂中CH4的测量
?检测制冷气体(CFC、PFC、HFCs等)
?电子产品(例如潜水设备的氦气控制)
?呼吸系统监测(医疗)
?控制在惰性气体下运行的封闭系统中的泄漏(例如应变计、硬盘质量控制等)


2.作为真空度/压力测量澳门太阳集团2007网站应用:
?固定和便携式分析仪器
?封闭系统(如动能储存系统)中的泄漏检测和主要真空控制
?半导体行业使用的真空设备
?食品工业(真空包装机)
一般来说,皮拉尼微型澳门太阳集团2007网站占据的面积小,能够集成到任何需要其控制的主要真空系统中(例如,密封控制、潜在腐蚀或意外开启)


四、 热导式气体太阳集团游戏官方网址 MTCS2601推荐的操作条件

MGSM2601 有 4 个分开连接的电阻:Rm1 和 Rm2 坐落在薄膜上和用于加热/测量; Rt1 和Rt2 坐落在澳门太阳集团2007网站的“冷部分”和用于温度测量和补偿。对于在低真空的压力测量,恒定的
过温度操作模式是被推荐的。 由于在一定范围内的压力传导率改变是重要的, 能快速的取决于应用,这是极佳的方法避免澳门太阳集团2007网站的损坏。


储存条件
温度: -40~100°C
湿度: 0~100%RH,非冷凝

机械压力测试
重力加速度:1000g, 0.2mS, 半正弦波
振动:10g RMS,正弦波:20~2000Hz



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